Формирование пленочного покрытия с необходимыми магнитными свойствами
Ключевые слова:
ферриты, термообработка, тонкие пленки, элементный состав, фазовый состав, диффузия, имплантация, физические свойства, магнитооптические свойства, эксплуатационные свойства
Аннотация
В работе исследованы структуры поверхностных нанослоев, сформированных ионно-плазменным методом с помощью комплексного подхода для достижения необходимых магнитооптических свойств приборов различного назначения. Для получения пленок использовали метод ионно-лучевого распыления мишени. На всех этапах получения и обработки сравнительно исследовали структурные изменения, происходящие в них: оценивали степень формирования неоднородности, коэффициенты диффузии, оси легкого намагничивания в плоскость пленки, а также влияние подложки и переходного слоя.
